オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内のプラズマ発光スペクトルを取得するために多くのユーザから選ばれています。これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に最適です。
プラズマモニタは、高分解能モデルのHR4000またはUV高感度モデルMaya2000Pro等の分光器と関連アクセサリにより構成することが可能です。また、OEM等の量産時や特注のアプリケーションにも対応します。