一般的に200～300nmの波長帯域は深紫外(Deep Ultra Violet: DUV)域と分類されますが、さらに短波長側の200nm以下の波長は真空紫外(Vacuum Ultra Violet: VUV)域と分類されます。

真空紫外域は酸素分子・窒素分子による吸収がある波長帯域のため、大気中での測定は困難です。真空紫外光を伝播させる為には、真空環境が必要となります。