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真空紫外(VUV)域とは

Picture by Eric Magnan [CC BY-SA 3.0], from Wikimedia Commons

一般的に200~300nmの波長帯域は深紫外(Deep Ultra Violet: DUV)域と分類されますが、さらに短波長側の200nm以下の波長は真空紫外(Vacuum Ultra Violet: VUV)域と分類されます。

真空紫外域は酸素分子・窒素分子による吸収がある波長帯域のため、大気中での測定は困難です。真空紫外光を伝播させる為には、真空環境が必要となります。

弊社では真空紫外(VUV)域用に下記システムをご用意しています。お持ちの真空チャンバーやグローブボックス内にシステムを設置し、真空紫外域の透過・吸光測定を行うことが可能です。もちろん、分光器のみ使用し真空紫外光の発光測定を行うことも可能です。

下記画像はグローブボックス内にて重水素光源(MgF2窓付き)を測定したスペクトルです。

*下記スペクトルは150nm~となっていますが、より短波長側をご検討の場合はご相談ください。

照射用重水素光源スペクトル

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