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オーシャンインサイト標準フランジ付真空フィードスルー VFTシリーズ(標準フランジ付)

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オーシャンオプティクス社の標準フランジ付真空フィードスルーは、半導体プロセスにおける光学モニタリングおよび薄膜蒸着のエンドポイントの検出を含む各種の超高真空アプリケーション用アクセサリです。真空チャンバの中へ、または真空チャンバから外へ光を導くために使用します。本モデルは、業界基準のフランジに結合可能で、KF40 およびKF16 ISO フランジ、また2.73 インチおよび1.33 インチのコンフラットフランジの4 種類でご提供可能です。

材質:サージカルステンレス
真空度:10-10 Torr
使用可能温度:300℃

このフランジはサージカルステンレスによって構成されています。フランジ用のガラス-金属シールは、全てのアセンブリが300℃まで機能する事を可能にしています。各フランジは、真空度10-10Torrのテストと動作検証されています。

半導体や薄膜工程において、このフランジは実用的であると共に、環境試験、製薬の処理、および光学コーティングの製造を伴うアプリケーションにも適しています。

また、分子線エピタキシー法および化学的と物理的な蒸着法で使用する事ができ、NEMA規格筐体用、グローブボックス用、中圧設備用の多目的貫通型部品として完璧です。

両端は、SMA905コネクタとなっており、光ファイバや、オーシャンオプティクス社の分光器、アクセサリ、光源などの豊富な製品ラインナップと簡単に接続することができます。

チャンバ内部の低圧側に設置するファイバは、オプションのアルミニウムジャケットタイプ、あるいはアーマードケーブルタイプの光ファイバを推奨しています。

真空フィードスルーは、コア径200μm、400μm、600μm、1000μmの光ファイバでご利用可能です。下記の各VFT は、SMAスプライスブッシング21-02 (SMA905コネクタ(オス)同士を接続するためのをインラインで接続できるコネクタ)が付属します。

製品一覧

1.33インチコンフラットフランジ

型番 説明
VFT-200-UV-133 コア径200μm、1.33インチ コンフラットフランジ、紫外-可視用
VFT-200-VIS-133 コア径200μm、1.33インチ コンフラットフランジ、可視-近赤外用
VFT-400-UV-133 コア径400μm、1.33インチ コンフラットフランジ、紫外-可視用
VFT-400-VIS-133 コア径400μm、1.33インチ コンフラットフランジ、可視-近赤外用
VFT-600-UV-133 コア径600μm、1.33インチ コンフラットフランジ、紫外-可視用
VFT-600-VIS-133 コア径600μm、1.33インチ コンフラットフランジ、可視-近赤外用
VFT-1000-UV-133 コア径1000μm、1.33インチ コンフラットフランジ、紫外-可視用
VFT-1000-VIS-133 コア径1000μm、1.33インチ コンフラットフランジ、可視-近赤外用

2.75インチコンフラットフランジ

型番 説明
VFT-200-UV-275 コア径200μm、2.75インチ コンフラットフランジ、紫外-可視用
VFT-200-VIS-275 コア径200μm、2.75インチ コンフラットフランジ、可視-近赤外用
VFT-400-UV-275 コア径400μm、2.75インチ コンフラットフランジ、紫外-可視用
VFT-400-VIS-275 コア径400μm、2.75インチ コンフラットフランジ、可視-近赤外用
VFT-600-UV-275 コア径600μm、2.75インチ コンフラットフランジ、紫外-可視用
VFT-600-VIS-275 コア径600μm、2.75インチ コンフラットフランジ、可視-近赤外用
VFT-1000-UV-275 コア径1000μm、2.75インチ コンフラットフランジ、紫外-可視用
VFT-1000-VIS-275 コア径1000μm、2.75インチ コンフラットフランジ、可視-近赤外用

KF16 ISOフランジ

型番 説明
VFT-200-UV-16 コア径200μm、KF16 ISOフランジ、紫外-可視用
VFT-200-VIS-16 コア径200μm、KF16 ISOフランジ、可視-近赤外用
VFT-400-UV-16 コア径400μm、KF16 ISOフランジ、紫外-可視用
VFT-400-VIS-16 コア径400μm、KF16 ISOフランジ、可視-近赤外用
VFT-600-UV-16 コア径600μm、KF16 ISOフランジ、紫外-可視用
VFT-600-VIS-16 コア径600μm、KF16 ISOフランジ、可視-近赤外用
VFT-1000-UV-16 コア径1000μm、KF16 ISOフランジ、紫外-可視用
VFT-1000-VIS-16 コア径1000μm、KF16 ISOフランジ、可視-近赤外用

KF40 ISOフランジ

型番 説明
VFT-200-UV-40 コア径200μm、KF40 ISOフランジ、紫外-可視用
VFT-200-VIS-40 コア径200μm、KF40 ISOフランジ、可視-近赤外用
VFT-400-UV-40 コア径400μm、KF40 ISOフランジ、紫外-可視用
VFT-400-VIS-40 コア径400μm、KF40 ISOフランジ、可視-近赤外用
VFT-600-UV-40 コア径600μm、KF40 ISOフランジ、紫外-可視用
VFT-600-VIS-40 コア径600μm、KF40 ISOフランジ、可視-近赤外用
VFT-1000-UV-40 コア径1000μm、KF40 ISOフランジ、紫外-可視用
VFT-1000-VIS-40 コア径1000μm、KF40 ISOフランジ、可視-近赤外用

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